根据客户的需求定制各类硅片,超薄硅片,超厚硅片,超平硅片,氧化硅片,氮化硅片,镀铝片,镀铜片等等,尺寸覆盖100mm~300mm.
超平硅片参数范例:
直径:300毫米
局部平整度:
局部平整规格:<=0,05微米, <=0,11微米, <=0,13微米, 或<=0.25微米
可用区域百分比(PUA):100%
局部尺寸:26x8 毫米
超厚硅片参数范例:
. 直径:200毫米
厚度:2000微米
颗粒度:0.2微米<=20ea
超薄硅片参数范例:
直径:50毫米-300毫米
电阻率:1-100欧姆.厘米
厚度:200微米
颗粒度:0.2微米<=20ea
表面处理:抛光